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随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
" alt="梅利哈" style="width:120px;height:80px;">
梅利哈
扎巴爾
李际春
　　森林覆盖率超过30%、各类林业经营主体3万多个、2021年全省林业总产值5092亿元……在我国首个林长制改革示范区安徽省，护绿、增绿、管绿、用绿和活绿协同发力，守住绿水青山的同时，将生态资源优势转化为经济优势，拓展“两山”转化新路径。
　　茂林修竹间，一条彩色的旅游公路串起林场、农庄和果园，地处江淮分水岭的合肥市长丰县岗集镇青峰岭村，万亩薄壳山核桃已果实累累。这里的丰收美景和田园之乐，让不少城里游客流连忘返。
　　“今年薄壳山核桃的产量、品质都不错！林下养鸡，林间种油菜，春天你再来看，又是一番美景！”作为当地较早返乡创业的新农人，长丰青峰岭家庭农场负责人王正华亲眼见证了“护绿生金”的变化。
　　王正华告诉记者，林长制改革以来，山有人管，林有人治，责有人担。村里优化产业结构，将资源变资产，发展现代都市观光农业，产业链条不断延伸。城里游客慕名而来，一到周末，农庄里的十几间精品民宿“一房难求”，优质的特色农产品成了抢手货。
　　守绿换金，添绿增金。在安徽，5.2万名林长守护着400多万公顷森林和100多万公顷湿地。数据显示，近5年，安徽省造林765万亩，农田林网建成率达73.8%，湿地保护率达51%以上。
　　森林碳汇、森林旅游、森林康养……安徽立足资源禀赋和区域特点，不断拓展生态产品价值实现途径，统筹推进生态产业化和产业生态化，推动生态资源转化为“富民资本”，绿水青山底色更亮，“金山银山”成色更足。
　　蓝天下，一望无际的黄金茶顺着丘陵起伏绵延，健身步道、休闲木亭点缀在茶园中，位于安徽省宣城市郎溪县的大佛山养心谷是不少摄影爱好者的网红打卡地。
　　依托优美的生态环境，郎溪县将盘活林业资源与发展全域旅游相结合，加快与沪苏浙等地的交通基础设施互联互通，描绘生产美、生态美、生活美的乡村振兴新图景。
　　“我们依托黄金茶标准化种植基地，探索茶旅融合，发展生态+康养产业，将美丽风光变为美丽经济，带动更多的村民走上生态致富路。”郎溪县大佛山养心谷负责人王立胜说。
　　水岸共治、退渔还湖、退养还湿……从予取予求到反哺自然、尊重自然、人与自然和谐共生，安徽按下生产和生活方式绿色转型“快进键”。
　　统筹推进山水林田湖草沙一体化保护和系统治理，安徽加快建设长江、淮河、江淮运河、新安江生态廊道，为区域经济发展筑牢生态安全屏障。
　　图为合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地。新华社记者张端摄
　　在安徽省合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地，百鸟争鸣，草木繁茂。随着环巢湖湿地面积的不断增加，生物多样性加快恢复，巢湖生态湿地重现生机。
　　当地群众告诉记者，这几年生态环境好了，常能看到白琵鹭、豆雁、红嘴鸥等鸟类在这里越冬、栖息，难得一见的东方白鹳也时常飞到巢湖湿地来觅食。
　　巢湖风光，作为五大淡水湖之一，巢湖是我国生态版图上的一颗明珠。新华社记者张端摄
　　青山为笔，碧水为墨，一幅生产发展、生活富裕、生态良好、城乡共美的青绿山水画卷正徐徐展开。
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让生态资源转化为“富民资本”——安徽探索“两山”转化新路径见闻

内容简介:

最近关心

　　安茶共富联盟启动仪式　　包婷婷/摄
　　地处阊江与查溪河的交汇处，穿越神秘的北纬30度线，“安茶之乡”祁门县芦溪乡芦溪村群山环绕，溪水纵横，小小一叶茶，绿了山野，富了乡村。
　　安茶始创于1725年，拥有近三百年悠久历史，曾一度在市场上销声匿迹。1988年，祁门县有关部门派科技人员深入安茶产地芦溪村，遍访当年安茶的制作经营者，经过艰辛努力，终于试制成功，得以恢复生产。此后经过10余年摸索创新，安茶在2003年逐步起势，到了2007年，安茶茶厂如雨后春笋般兴起，安茶产业发展正式迈入快车道。“现在我们芦溪村一共有2800多亩茶园，户均4.8亩的规模孕育出11家茶企，其中5家茶企年产值近千万元，2024年，芦溪村安茶产量突破400吨，产值达6000万元。据安茶协会统计，今年安茶产量达700吨，产值超亿元。”芦溪村党总支书记、村主任严正武笑着说，“这些年靠着生叶采摘和茶叶制作，村民的收入不断增加，从2020年到2024年这5年间，大家的人均年收入增长了3000元，芦溪的这片‘小茶叶’真正变成了富民增收‘金叶子’。”
　　绿水青山间孕育生长出的不只“金叶子”，还催生出了“茶+研学”“茶+旅游”“茶+民宿”等新业态。
　　“最初我只是经营一家农家乐，当时想着能给游客提供些乡村风味餐饮、简单住宿就行。后来游客越来越多，大家对体验式旅游需求也高，我就想着拓展，正好老村委会闲置，我便承包下来打造茶产业文旅园。”祁门县祁兰香茶产业文旅园主理人严君凤笑着说，“现在我们一共有18间客房，为了更好地满足游客的住宿需求，我们还打造了亲子房。除了餐饮、住宿外，又专门建了个小型茶博物馆开展研学活动，让学生们能更深入了解安茶。”据了解，祁兰香从2020年开业至今，来体验采茶、制茶等研学活动的已超5000人次，不少单位也会来此开展党建、团建活动。
　　有人带头，大家的思路便活泛起来，纷纷把自家的“方寸之地”变成就地增收的“致富园”。现如今，芦溪村共有11家民宿，直接带动百余名村民实现家门口就业，编竹篓等配套产业，更让近百户家庭多了份稳定收入。
　　从一片叶到一杯茶，从茶山到茶厂，从茶文化到茶文旅，芦溪村的“茶路”越走越宽，蓬勃的发展态势也吸引了更多外部品牌前来扎根。
　　“我们当初选择芦溪村，正是看中了这里优良的生态环境、深厚的历史底蕴，以及茶旅融合强劲的发展势头。”“舟上·安乡”民宿负责人陈科学向记者介绍，民宿整体规划构建了艺术茶园区、美学生活区、滨水休闲区三大空间结构，涵盖23个特色项目，通过住宿、餐饮、研学体验、水上娱乐等多元业态，全方位满足游客的多样化需求。“我们民宿共有25间客房，自去年10月开业以来口碑持续攀升，节假日入住率稳定在90%，今年‘五一’假期更是达到了满房，不少游客都是冲着这里的茶乡风光和特色体验来的。”
　　从单一的种茶卖茶到多元发展的茶旅融合，芦溪村用一片茶叶书写了产业兴旺、生态宜居、治理有效、生活富裕的乡村振兴新图景。据了解，2024年，全村茶产业综合产值近亿元，村民人均年收入达2万元。
　　如今，这片浸润着山水灵气的“金叶子”，正让芦溪村乡村振兴的成色越来越足，让村民的幸福生活越来越有奔头。（记者张妍）
编辑：刘晓东" alt="芦溪村：“小茶叶”变乡村振兴“金叶子”" style="width:120px;height:80px;">
芦溪村：“小茶叶”变乡村振兴“金叶子”
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塞林約爾
" alt="潔西·李·杜加綁架案" style="width:120px;height:80px;">
潔西·李·杜加綁架案
这是2026年3月13日在法国巴黎拍摄的国际能源署标识。新华社记者邬惠我摄
国际能源署19日发布新闻公报说，在其成员国一致决定动用4亿桶战略石油储备后，相关储备已开始向市场投放。
公报说，此次投放的石油储备总体将以原油为主，在欧洲地区则主要是成品油。与此同时，美洲国家将通过提高产量补充市场供应。
公报还说，随着各国进一步细化各自承担的份额，原油与成品油的具体分配比例及来自公共储备的供应规模等仍可能调整。
受中东局势升级影响，伦敦布伦特原油期货价格19日开盘后一度升至每桶116美元以上，欧洲天然气和石油价格当日早盘也明显上涨。
国际能源署11日宣布，32个成员国一致同意释放4亿桶战略石油储备，以应对因美国和以色列军事打击伊朗导致全球石油供应紧张的局面。这是国际能源署迄今协调规模最大的一次石油储备释放。
" alt="重磅！石油储备开始入市" style="width:120px;height:80px;">
重磅！石油储备开始入市
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